技術編號：3262073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及金剛石薄膜的制備，特別是關于一種。背景技術金剛石特殊的晶體結構使其具有許多優(yōu)異的性能。在眾多無機材料中具有特別優(yōu)異的力學、電學、熱學和光學特性，是一種不可替代的特殊多功能材料。將金剛石薄膜用在電化學領域中是近些年來的研究熱點。金剛石薄膜電極有著優(yōu)良的電化學特性，如寬電勢窗口、低背景電流、耐腐蝕能力強、自身不消耗等。這使得金剛石薄膜電極有著廣泛的應用前景。化學氣相沉積是制備金剛石薄膜的主要方法，主要有微波等離子體化學氣相沉積、熱絲化學氣相沉積、直流...
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