技術編號：3262062
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于蝕刻含有銅層和/或銅合金層的金屬膜、特別是銅層和/或銅合金層/鑰層壓膜的蝕刻用組合物。本發(fā)明尤其涉及可以用于形成布線、電路、電極、連接部等微細結構的，典型地用于制作液晶顯示器的門電路、源極及漏極電極等的金屬層壓膜用蝕刻液組合物。背景技術以往，液晶顯示器的門電路、源極及漏極電極材料等，從便宜且電阻小的角度出發(fā)，使用鋁或鋁合金，但在實用上，因與作為基礎的玻璃基板之間的貼附性比較低，所以在下部使用鑰等金屬或其合金的膜形成鋁/異種金屬層壓膜而使用。另...
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