技術(shù)編號(hào):3261553
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù)高純多晶硅(多晶硅)作為原材料用于通過(guò)直拉(CZ)或區(qū)熔(FZ)法生產(chǎn)半導(dǎo)體用的單晶硅,以及用于通過(guò)不同拉伸和鑄造法生產(chǎn)單或多晶硅,用于生產(chǎn)光伏發(fā)電用的太陽(yáng)能電池。多晶硅典型地利用西門子方法生產(chǎn)。這涉及將含一種或多種含硅成分的反應(yīng)氣體和可選的氫氣通入含支撐體的反應(yīng)器中通過(guò)直接通電加熱,硅以固體形式沉積在支撐體上。使用的含硅成分優(yōu)選地硅烷(SiH4)、一氯硅烷(SiH3Cl)、二氯硅烷(SiH2Cl2)、三氯硅烷(SiHCl3)、四氯硅烷...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。