技術(shù)編號(hào)：3251080
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于納米顆粒、納米晶粒、薄膜與基底高強(qiáng)度粘附、具有特征微觀結(jié)構(gòu)的功能薄膜的制備，具體涉及一種新的薄膜制備技術(shù)以室溫下為固相的低熔點(diǎn)低蒸汽壓材料為基底；沉積薄膜之前，升高基底溫度，將其熔融而成為液相基底；待沉積結(jié)束之后，使基底溫度自由冷卻至室溫，基底固化，從而使薄膜的微觀結(jié)構(gòu)得到穩(wěn)定地保持。背景技術(shù) 在過去的幾十年中，薄膜科學(xué)和技術(shù)研究取得了輝煌的成就，具有各種獨(dú)特功能的新型功能薄膜層出不窮，如70年代左右成熟的超導(dǎo)薄膜、80年代發(fā)展起來的超晶格薄膜、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。