技術(shù)編號(hào)：3249022
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及氮化硅膜的沉積，且更特定來說，涉及用于濺鍍張力氮化硅膜的 系統(tǒng)和方法。 背景技術(shù)本節(jié)意在向讀者介紹可能與下文描述且/或主張的本發(fā)明各個(gè)方面有關(guān)的技術(shù)的各 個(gè)方面。相信此論述內(nèi)容有助于向讀者提供背景信息，以便于更好地理解本發(fā)明的各個(gè) 方面。因此，應(yīng)理解，應(yīng)就此而論閱讀這些陳述，而不作為對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的承認(rèn)。如大多數(shù)人通常知道的那樣，微處理器是在軟件程序的控制下執(zhí)行特定功能的本質(zhì) 上一般的裝置，所述軟件程序可存儲(chǔ)在耦合到微處理器和/或其它外圍裝置的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。