技術(shù)編號:3248934
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及金屬坯段(billet)、板、棒和濺射靶及其它金屬制品。更特別地,本發(fā)明涉及制造優(yōu)選具有均勻的細(xì)晶粒尺寸、均勻微觀結(jié)構(gòu)、低織構(gòu)帶(texture banding)和/或沒有表面紋路(marbleizing)的金屬的方法,該金屬用于制造濺射靶和其它物體。 背景技術(shù) 濺射靶和濺射靶材料的某些可觀察到的性質(zhì)對于增強閥金屬(valve metal)濺射靶的濺射性能是期望的(參見,例如,Michaluk,“Correlating Discrete O...
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