技術編號：3246751
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于微電子工藝設備，涉及薄膜淀積裝置，具體的說是一種等離 子體化學氣相淀積裝置。技術背景等離子體化學氣相淀積技術是深亞微米微細加工技術的重要技術基礎之一。電子回旋 共振ECR是指當輸入的微波頻率(0等于電子回旋頻率COce時發(fā)生共振，微波能量耦合給電子，獲得能量的電子電離中性氣體分子產(chǎn)生放電的過程。通過調節(jié)磁場，使得在放電室的某一區(qū)域達到共振條件，這個區(qū)域稱為ECR區(qū)。當微波頻率為2.45GHz時，達到電子 回旋共振的磁感應強度B=0.0875T...
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