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襯底上的氧化物膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3245912

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襯底上的氧化物膜本申請是1999年8月2日提出的申請?zhí)枮?9810660.7 (PCT/US99/17486)的發(fā)明名稱為"含p型摻雜劑的氧化鋅膜及其制造 方法"的發(fā)明專利申請的分案申請。本發(fā)明涉及用于例如發(fā)光器件(LEDs)、激光二極管(LDs)、場 效應晶體管(FETs)和光探測器等電激發(fā)器件的氧化鋅(Zn0)膜。更 具體說,本發(fā)明涉及用于需要n型和p型材料的LBDs、 LDs、 FETs和 光探測器的含p型摻雜劑的Zn0膜,這種ZnO膜在這些器件中用...
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