技術(shù)編號：3244962
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種，屬于真空固態(tài)薄膜制作，尤其是太陽能選擇性吸收涂層制作。背景技術(shù) AlN介質(zhì)薄膜材料具有較高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性，對太陽光譜具有較高的透過率，在太陽能熱利用領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。比如，中低溫太陽能集熱器廣泛采用Al-AlN選擇性吸收涂層，需要AlN介質(zhì)薄膜作為該涂層的增透膜(殷志強，“濺射太陽能選擇性吸收涂層”，中國專利，申請單位清華大學(xué)，申請?zhí)?5100142)。在高溫太陽能集熱器中，難熔金屬和AlN介質(zhì)組成的金屬-介質(zhì)薄膜選擇性吸收涂層有望獲得廣泛應(yīng)...
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