技術(shù)編號(hào):3244767
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到用大面積直流脈沖等離子體源進(jìn)行等離子體基低能氮、碳、硼等非金屬離子注入的技術(shù),屬于材料表面工程領(lǐng)域。背景技術(shù)離子注入技術(shù)是涉及物理、電工、材料等多學(xué)科的一種新興工業(yè)技術(shù)。20世紀(jì)70年代,離子注入開始用于材料表面改性,使材料的耐磨、抗蝕、耐高溫,以及光、電、超導(dǎo)等功能特性得到明顯改善。離子注入技術(shù)具有注入能量和劑量精確控制,形成的改性層不受相平衡等合金化規(guī)則限制等優(yōu)點(diǎn),已被廣泛應(yīng)用于信息技術(shù)、先進(jìn)制造及生物醫(yī)學(xué)工程等高,并大大促進(jìn)了相關(guān)技術(shù)的發(fā)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。