技術(shù)編號：3244333
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種非晶鈮金屬氧化物薄膜及其熱氧化蒸鍍技術(shù)。技術(shù)背景目前實現(xiàn)金屬氧化物納米結(jié)構(gòu)膜的制備方法主要有磁控濺射與射頻濺射、真空蒸發(fā)、溶膠凝膠、M0CVD (金屬有機物化學(xué)氣相沉積)和 PLD (脈沖激光沉積)等，這些方法在生長納米材料的時候或者溫度較 高，或者儀器昂貴并且操作復(fù)雜，有些甚至耗時很長?，F(xiàn)有鈮金屬氧 化物膜的應(yīng)用多見以五氧化二鈮結(jié)構(gòu)材料，而二氧化鈮和非晶結(jié)構(gòu)鈮 金屬氧化物納米結(jié)構(gòu)則少見報道。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種具典型形貌特征的非...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。