技術(shù)編號(hào)：3211366
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于通過照射激光而對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工的激光加工方法及激光加工裝置。背景技術(shù) 在現(xiàn)有的激光加工技術(shù)中，有相對(duì)于將用于對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工的激光聚光的聚光透鏡，取規(guī)定的間隔而并設(shè)測定加工對(duì)象物的主面高度的測定裝置(接觸式位移計(jì)或超音波測距計(jì)等)的激光加工技術(shù)(例如，參照下述專利文獻(xiàn)1的圖6～圖10。)。在這種激光加工技術(shù)中，在沿著加工對(duì)象物的主面以激光掃描時(shí)，通過測定裝置來測定加工對(duì)象物的主面高度，在其測定點(diǎn)到達(dá)聚光透鏡的正下方時(shí)，依據(jù)其主面高度的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。