技術(shù)編號(hào):3120662
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供加工裝置,具有保持單元(18),其具有以能夠旋轉(zhuǎn)的方式保持被加工物(11)的保持面(18a);激光束照射機(jī)構(gòu)(24),其具有激光束產(chǎn)生單元以及聚光單元(24a),該聚光單元(24a)將通過(guò)激光束產(chǎn)生單元產(chǎn)生的激光束聚光于通過(guò)保持單元保持的被加工物的內(nèi)部;相對(duì)移動(dòng)單元,其使保持單元和激光束照射機(jī)構(gòu)在保持單元的保持面方向上相對(duì)移動(dòng);剝離單元(26),其以向通過(guò)保持單元保持的被加工物照射激光束而形成于被加工物內(nèi)部的改質(zhì)面(11c)為邊界剝離被加工物的一...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。