技術編號：3112683
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，包括依次設置的攝像頭、半反半透鏡、聚焦物鏡、晶片工裝及工作臺，晶片對準定位裝置還包括激光輸入裝置及控制器；攝像頭、半反半透鏡與聚焦物鏡的中心同軸，攝像頭與聚焦物鏡所在的第一軸線與半反半透鏡呈45度，激光輸入裝置輸出的激光束方向垂直于第一軸線，輸入半反半透鏡的中心，聚焦物鏡用于攝像頭的晶片圖像識別調焦；晶片工裝用于裝載至少一片待加工晶片，工作臺可沿直角坐標系X、Y軸移動并沿自身中心軸旋轉；控制器與攝像頭及工作臺連接，用于讀取攝像頭拍攝的定位圖...
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