技術編號：3107618
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種應用于激光退火設備的吹掃裝置，設置在激光退火設備工件臺上方區(qū)域的周圍，包括一組以上氣流腔。本實用新型通過在激光退火設備工件臺上方設置一組或多組氣流腔，向工件臺吹純凈氣體，將硅片析出的金屬離子及時吹走，同時阻止空氣中的金屬離子沉積到工件臺上，從而在不影響激光退火設備使用效率和效果的前提下，實現(xiàn)了對工件臺金屬離子的有效控制，避免了金屬離子對器件性能的影響。專利說明應用于激光退火設備的吹掃裝置 [0001] 本實用新型涉及集成電路制造領...
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