技術(shù)編號(hào)：3056715
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種借由真空吸附而將玻璃基板、硅晶圓、化合物半導(dǎo)體、陶瓷等平板狀的基板固定的吸附臺(tái)，特別是涉及一種吸附面由多孔質(zhì)材料形成的吸附臺(tái)。背景技術(shù)借由真空吸附而將基板固定的吸附臺(tái)是利用于各種領(lǐng)域的基板加工裝置中。例如，在大型的玻璃基板或半導(dǎo)體基板(所謂的母基板)上對(duì)多個(gè)電子零件進(jìn)行圖案形成，并將其按各個(gè)電子零件分?jǐn)嗟幕寮庸ぱb置中，借由使用刀輪等的機(jī)械刻劃或使用激光光束的激光刻劃，而進(jìn)行在基板上形成劃線的加工。此時(shí)，為在所需位置上形成劃線，而對(duì)基板進(jìn)行定...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。