技術(shù)編號：3018634
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在平板顯示器(FPD)等的多層薄膜上圖案化樹脂膜或金屬 膜的技術(shù)。更具體地，本發(fā)明涉及激光加工設(shè)備與激光加工方法，以及碎片 收集機(jī)構(gòu)與碎片收集方法，還涉及制造顯示面板的方法。該碎片收集機(jī)構(gòu)與 碎片收集方法旨在去除和收集通過以激光照射目標(biāo)表面的熔蝕(ablation )、 熱炫融(thermofusion)或他們的混合操作的激光加工期間形成的碎片。背景技術(shù)在制造例如液晶面板的平板顯示器的工藝中，很多薄膜例如樹脂膜或金 屬膜層疊在玻璃基板上，以形成薄...
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