技術(shù)編號(hào):2967677
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及以物理汽相沉積(“PVD”)和化學(xué)汽相沉積(“CVD”)使薄膜材料同時(shí)沉積在基底上的設(shè)備,尤其是涉及以濺射和微波化學(xué)汽相沉積使薄膜材料同時(shí)沉積在基底上,最好是在基底材料的加長(zhǎng)幅面料上的新穎設(shè)備。背景技術(shù)通過(guò)薄膜工藝可制出各種產(chǎn)品。通過(guò)薄膜材料的沉積可制造的產(chǎn)品的例子包括用于光學(xué)控制及太陽(yáng)能控制的干涉儀堆棧。一種太陽(yáng)能控制產(chǎn)品的例子公開于Woodard等人的美國(guó)專利No.5,494,743中,題目為“ANTIREFLECTION COATIN...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。