技術(shù)編號：2946042
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種等離子蝕刻機，尤其是涉及一種用于半導(dǎo)體元件或液晶顯示器制造工序的等離子蝕刻機。背景技術(shù) 一般而言，等離子蝕刻工序是通過連接在等離子蝕刻機箱體上部的氣體注入管向箱體內(nèi)部注入氣體來進行的。這時，在橫穿箱體內(nèi)部設(shè)置的上部電極上形成多個噴射孔，因此由氣體注入管供應(yīng)到上部電極的氣體，通過噴射孔噴射到位于箱體內(nèi)部的玻璃基片整個表面上。然而，隨著玻璃基片的大型化，通過氣體注入管注入到箱體內(nèi)部的氣體噴射不均勻的可能性也變大。換而言之，由氣體注入管流入的氣體通...
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