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在工件的離子植入期間處理束流異常的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2944177

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本發(fā)明涉及工件的離子植入,且尤其涉及使用離子植入來形成太陽能電池。背景技術(shù)離子植入為一種用以將改變導(dǎo)電率的雜質(zhì)(conductivity-alteringimpurities) 引入工件中的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。在離子源中離子化所需的雜質(zhì)材料,使這些離子加速以形成具規(guī)定能量的離子束,且將這些離子束導(dǎo)向工件的表面。離子束中的高能離子穿入工件材料的主體中,并嵌入至工件材料的晶格(crystalline lattice)中,以形成一具有所需導(dǎo)電率的區(qū)域。太陽能電池為使用硅工...
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  • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用