技術(shù)編號：2933806
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有高亮度的金剛石電子源和制造該金剛石電子源的 方法，在該金剛石電子源中，在其尺寸使在微加工工序中難以進行抗 蝕劑涂布的柱狀金剛石單晶的一端形成僅僅一個尖銳末端，作為在電 子顯微鏡、電子束曝光裝置或其他電子束裝置中使用的電子發(fā)射點。背景技術(shù)金剛石以負電子親和勢(NEA)狀態(tài)或弱正電子親和勢(PEA) 狀態(tài)存在，因此被認為是良好的電子發(fā)射材料。已提出了涉及使用金 剛石以及利用金剛石特性的電子發(fā)射元件或電子發(fā)射元件的制造方法 的很多建議。然而，為了將...
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