技術編號:2904994
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及真空微電子領域,具體來說,是涉及一種在真空中對氧化鐵納米冷陰極進行加熱,從而改善其發(fā)射特性的方法。背景技術準一維納米材料如納米線、納米管等具有大的高徑比,因而具有高的電場增強因子,適用于制作冷陰極,在各種真空微電子器件中有重要應用前景。碳納米管是目前被研究最多的納米冷陰極材料,已經在場發(fā)射顯示器件(FED)、χ射線管和場發(fā)射光源等真空微電子器件中得到應用。但是碳納米管存在手性難以可控、低溫制備困難、材料易氧化的缺點。 近年來,研究者發(fā)現半導體性的...
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