技術(shù)編號：2904033
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于真空，涉及ー種加熱裝置及等離子體加工設(shè)備。背景技術(shù)隨著電子技術(shù)的快速發(fā)展，生產(chǎn)企業(yè)間的競爭越來越激烈，這就要求生產(chǎn)企業(yè)不斷地提高其產(chǎn)品質(zhì)量以應(yīng)對激烈的市場競爭。眾所周知，生產(chǎn)設(shè)備的加工性能是影響產(chǎn)品質(zhì)量的主要因素之一。例如，LED(發(fā)光二極管)刻蝕機的加工性能就影響著LED光源的質(zhì)量。LED刻蝕機在進(jìn)行刻蝕的エ藝過程中，其反應(yīng)腔室內(nèi)會產(chǎn)生很多副產(chǎn)物，這些副產(chǎn)物對襯底的刻蝕質(zhì)量和刻蝕機的壽命都會產(chǎn)生不利影響。為此，人們在反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置了 內(nèi)襯以及加...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。