技術編號：2895894
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種激光驅動光源。尤其涉及作為半導體、液晶基板及彩色過濾器的 曝光工藝中使用的曝光裝置、數(shù)字影院用的圖像投影裝置、光學分析裝置的光源使用的激 光驅動光源。背景技術近年來，上述曝光工藝中使用的曝光裝置、數(shù)字影院用的圖像投影裝置、及光學分 析裝置等中使用的光源除了要求所需波長區(qū)域的發(fā)光強度足夠以外，還要求使用壽命較長。該領域中使用的光源是在封入有水銀或稀有氣體(氙氣)的玻璃管球內(nèi)、在電極 之間產(chǎn)生電弧放電的類型，但因電極暴露于電弧放電中，因此難以避免...
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