技術(shù)編號(hào)：2868782
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。所述繪畫裝置用于利用帶電粒子束在基板上執(zhí)行繪畫，包括控制器，被配置為基于所述帶電粒子束在所述基板上的多個(gè)位置中的每一個(gè)相對(duì)于與所述多個(gè)位置中的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)的目標(biāo)位置的位移的信息、以及與所述多個(gè)位置中的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)的目標(biāo)位置處的所述帶電粒子束的目標(biāo)劑量，來控制所述多個(gè)位置中的每一個(gè)處的所述帶電粒子束的劑量。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及。 背景技術(shù) [0002]作為用于制造諸如半導(dǎo)體集成電路的設(shè)備的繪畫裝置，日本專利N0.4858...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。