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襯墊組合件和具有襯墊組合件的襯底處理設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2867685

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本發(fā)明提供一種襯墊組合件和一種包含所述襯墊組合件的襯底處理設(shè)備。所述襯墊組合件包含側(cè)面襯墊、中間襯墊和下部襯墊。所述側(cè)面襯墊具有圓柱形形狀,并且上部部分和下部部分是敞開(kāi)的。所述中間襯墊安置在所述側(cè)面襯墊下方,并且具有在垂直方向中穿過(guò)其中的多個(gè)第一孔。所述下部襯墊安置在所述中間襯墊下方。這里,所述多個(gè)第一孔在多個(gè)區(qū)中形成為不同尺寸和數(shù)目。專(zhuān)利說(shuō)明襯墊組合件和具有襯墊組合件的襯底處理設(shè)備 [0001] 本發(fā)明涉及一種襯底處理設(shè)備,尤其涉及一種能夠改善處理...
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