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等離子體處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2867498

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提供一種能夠正確地檢測(cè)電弧放電的產(chǎn)生的等離子體處理裝置。使用等離子體對(duì)基板(G)實(shí)施處理的等離子體處理裝置(10)具備腔室(11),其被提供高頻電力而在內(nèi)部產(chǎn)生等離子體;第一微分電路(21),其對(duì)高頻電力的行波電壓Vf進(jìn)行時(shí)間微分;第二微分電路(23),其對(duì)高頻電力的反射波電壓Vr進(jìn)行時(shí)間微分;比較器(22),其計(jì)算dVr/dt-dVf/dt,在計(jì)算出的該dVr/dt-dVf/dt超過(guò)電弧放電檢測(cè)值的情況下,判斷為在腔室(11)內(nèi)產(chǎn)生了電弧放電而發(fā)送信號(hào);...
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