技術(shù)編號(hào)：2866625
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種操作用以處理夾盤(pán)(13)上的靶材(23)的靶材處理系統(tǒng)的方法，該方法包括在該夾盤(pán)(13)上提供至少第一夾盤(pán)位置標(biāo)記(27)和第二夾盤(pán)位置標(biāo)記(28)；提供對(duì)準(zhǔn)感測(cè)系統(tǒng)(17)，其被布置成用以檢測(cè)這些第一和第二夾盤(pán)位置標(biāo)記(27，28)，對(duì)準(zhǔn)感測(cè)系統(tǒng)(17)包括至少第一對(duì)準(zhǔn)傳感器(61)和第二對(duì)準(zhǔn)傳感器(62)；以對(duì)準(zhǔn)感測(cè)系統(tǒng)(17)的至少一個(gè)測(cè)量值為基礎(chǔ)將該夾盤(pán)(13)移動(dòng)至第一位置；以及測(cè)量和夾盤(pán)的第一位置有關(guān)的至少一個(gè)值。專(zhuān)利說(shuō)明 ...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。