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一種適用于常壓環(huán)境材料表面等離子體處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2856607

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本發(fā)明涉及一種適用于常壓環(huán)境材料表面等離子體處理裝置,包括外殼、電極組件和電源,外殼內(nèi)設(shè)置有反應(yīng)腔室,外殼一側(cè)壁體上開(kāi)設(shè)有氣體入口,外殼與設(shè)有氣體入口相對(duì)的壁體上設(shè)置有溢氣口,電極組件設(shè)置于反應(yīng)腔室內(nèi),電極組件為一對(duì)相互平行設(shè)置的平板電極,兩個(gè)平板電極相對(duì)應(yīng)的電極面上設(shè)置有絕緣板。本發(fā)明物料放置于絕緣板上,反應(yīng)氣體從氣體入口進(jìn)入反應(yīng)腔室中,同時(shí)溢氣口向外排氣,反應(yīng)氣體在反應(yīng)腔室中穩(wěn)定后,電源驅(qū)動(dòng)電極組件工作形成電場(chǎng)將反應(yīng)氣體電離并對(duì)物料進(jìn)行表面處理,實(shí)現(xiàn)常...
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