技術(shù)編號：2854930
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種超寬帶狀離子束產(chǎn)生裝置及離子注入機(jī)。為了解決現(xiàn)有的超寬離子束的均勻性較差的問題，所述超寬帶狀離子束產(chǎn)生裝置包括離子質(zhì)量分析磁鐵、分析光欄和離子束聚焦磁鐵；所述離子質(zhì)量分析磁鐵具有斑狀離子束穿過的空間；所述分析光欄具有從所述離子質(zhì)量分析磁鐵出來的匯聚的帶狀離子束穿行的空間；所述離子束聚焦磁鐵具有從所述分析光欄出來的帶狀離子束穿行的空間；所述離子質(zhì)量分析磁鐵產(chǎn)生第一磁場，所述離子束聚焦磁鐵產(chǎn)生第二磁場，所述第二磁場與所述第一磁場方向垂直。本發(fā)明...
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