技術(shù)編號(hào):2854172
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法,包括工控機(jī)(1)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)、開(kāi)關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。說(shuō)明書(shū)對(duì)一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法作出了詳細(xì)說(shuō)明,并給出了具體實(shí)施方案。本發(fā)明涉及離子注入裝置,隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。專(zhuān)利說(shuō)明—種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)控制的方法 [0001]本發(fā)明涉及一種通過(guò)電機(jī)控制磁極垂直運(yùn)動(dòng)從而調(diào)節(jié)局部磁場(chǎng)強(qiáng)度的,特別是應(yīng)用在離子注入機(jī)中改變束流通過(guò)調(diào)節(jié)區(qū)域后的偏轉(zhuǎn)角度。 背景技術(shù) [...
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