一種調(diào)節(jié)多磁極運動控制的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法，包括：工控機(1)、光纖(2)、信號輸入輸出板(3)、電機驅(qū)動板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。說明書對一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法作出了詳細說明，并給出了具體實施方案。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導體制造領(lǐng)域。
【專利說明】—種調(diào)節(jié)多磁極運動控制的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種通過電機控制磁極垂直運動從而調(diào)節(jié)局部磁場強度的【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是應用在離子注入機中改變束流通過調(diào)節(jié)區(qū)域后的偏轉(zhuǎn)角度。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)代CMOS技術(shù)的不斷推進，離子注入的工藝種類呈不斷增加趨勢，且隨著特質(zhì)線寬的縮小，工藝復雜程度的提高，傳統(tǒng)的中束流注入機已不能滿足這種工藝要求，因此離子注入工藝所面臨的挑戰(zhàn)體現(xiàn)在注入能量向超低端發(fā)展，而注入劑量則向高濃度發(fā)展，要解決這一制造工藝，必須開發(fā)新的離子注入機設備一低能大束流離子注入機來解決淺結(jié)注入工藝。與傳統(tǒng)的注入機不同，低能大束流離子注入對設備在束平行性、束能量純度、離子束減速技術(shù)、注入晶圓電荷消除技術(shù)、離子束擴束技術(shù)、注入深度控制、注入重復性、均勻性與生產(chǎn)率等方面都提出了更高的要求。為了有效改善寬帶束的均勻性及平行度，可通過多磁極的調(diào)節(jié)實現(xiàn)，調(diào)節(jié)每個磁極的垂直位置，改變對稱磁極之間的極距從而調(diào)節(jié)局部磁場的強度，進而改變穿過該區(qū)域的離子束的偏轉(zhuǎn)角度，以調(diào)節(jié)寬帶束的平行度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明公開了離子注入機系統(tǒng)中一種用于控制多磁極運動的方法，針對上下12組磁極，提出了一種控制精度高、結(jié)構(gòu)簡單的系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明專利通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0005]—種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法，包括工控機(I)、光纖(2)、信號輸入輸出板
(3)、電機驅(qū)動板⑷、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
[0006]所述的工控機⑴與信號輸入輸出板⑶通過光纖⑵相連；所述電機驅(qū)動板(4)與信號輸入輸出板⑶和開關(guān)電源(5)相連；所述電機驅(qū)動板⑷與多磁極(6)相連。
[0007]本發(fā)明型具有如下顯著優(yōu)點:
[0008]1.僅用4個信號輸入輸出板(3)和6個4軸電機驅(qū)動板⑷即可控制12組磁極的運動；
[0009]2.每個電機配有一個直線位移傳感器，實現(xiàn)磁極運動的實時監(jiān)控；
[0010]3.電路簡單，可以實現(xiàn)模塊化，利于生產(chǎn)和安裝；
[0011 ] 4.可以單獨精確控制每個磁極的運動，從而改變束流通過區(qū)域的磁場分布；

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明所述的原理功能框圖；
[0013]圖2是本發(fā)明所述控制12組磁極的實施電路示意圖。

【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0015]參見圖1 一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法，包括工控機(I)、光纖(2)、信號輸入輸出板(3)、電機驅(qū)動板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
[0016]工控機(I)通過光纖(2)與信號輸入輸出板(3)相連實時發(fā)送與接收數(shù)據(jù)，開關(guān)電源(5)為電機驅(qū)動板(4)提供工作電壓，其中包括電機驅(qū)動電壓及位移傳感器工作電壓，信號輸入輸出板⑶與電機驅(qū)動板⑷相連，信號輸入輸出板⑶將工控機⑴發(fā)出的使能信號送到電機驅(qū)動板(4)的使能端，此時電機驅(qū)動器進入待命狀態(tài)，此時工控機(I)通過光纖(2)發(fā)送O?65535的數(shù)據(jù)信號至電機驅(qū)動板(4)，電機驅(qū)動板將接收到的位移傳感器反饋信號與運動命令作比較處理后控制電機運動，電機通過絲杠帶動磁極做垂直方向的運動，從而改變束流區(qū)域的磁場強度分布。
[0017]圖2中，工控機⑴控制4個模擬量信號輸入輸出板(3)，每兩個信號輸入輸出板
(3)都接有3個4軸電機驅(qū)動板(4)，從而獨立的控制24個電機的運動，另外，每3個4軸電機驅(qū)動板(4)裝在一個2U的19英寸機箱里，有效減小了系統(tǒng)的體積。
[0018]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【權(quán)利要求】
1.一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法,其特征在于:工控機(I)、光纖(2)、信號輸入輸出板(3)、電機驅(qū)動板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法，其特征在于:僅用4個模擬量信號輸入輸出板⑵就能控制6個4軸電機驅(qū)動板⑷，從而控制24個電機的運動。
3.如權(quán)利要求1所述的一種調(diào)節(jié)多磁極運動的控制方法，其特征在于每個電機都配有一個直線位移傳感器，位移反饋信號接在4軸電機驅(qū)動板(4)上，從而通過信號輸入輸出板(3)實時反映到工控機(I)中。
【文檔編號】H01J37/15GK104299873SQ201310303905
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】高婷婷 申請人:北京中科信電子裝備有限公司