技術(shù)編號：2842558
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及等離子體處理，具體地，涉及一種加熱裝置及應(yīng)用該加熱裝 置的等離子體處理設(shè)備。背景技術(shù)目前，隨著科技的不斷進(jìn)步，等離子體處理技術(shù)得到了長足的發(fā)展。與此同時，市 場對產(chǎn)品的質(zhì)量要求也越來越高，而在實(shí)際生產(chǎn)當(dāng)中，往往一些細(xì)微的工藝誤差就會導(dǎo)致 產(chǎn)品的質(zhì)量大幅下降。這就要求企業(yè)不斷改進(jìn)自身的生產(chǎn)工藝和加工設(shè)備以滿足新的市場需求。以太陽能電池或者半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)為例，對硅片等的待加工工件進(jìn)行加工前的 預(yù)熱處理就是一項(xiàng)看似簡單、實(shí)則對產(chǎn)品質(zhì)量影響甚大的重要環(huán)...
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