技術(shù)編號：2838658
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及在大氣壓下對被處理物實施等離子處理的大氣壓等離子處理系統(tǒng)。背景技術(shù)一直以來，利用減壓下產(chǎn)生的等離子體，對基板等被處理物進行表面處理。具體而言，在減壓的腔室內(nèi)，使氣體發(fā)生等離子化，利用該等離子化的氣體，進行被處理物的表面改性、表面清洗、形成薄膜等處理。在減壓下的等離子處理中，為了對腔室內(nèi)進行減壓，而需要真空泵等，而且，為了維持減壓狀態(tài)，而需要對腔室進行密閉。因此，在減壓下用于進行等離子處理的系統(tǒng)具有大型化且成本升高的傾向。而且，需要腔室的密閉工...
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