技術(shù)編號(hào)：2816981
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種增加設(shè)置在照射(irradiation)設(shè)備中的聚光器(optical collector)單元操作壽命的方法，所述照射設(shè)備至少包括發(fā)射光學(xué)輻射(特別是極紫外輻 射(EUV)和/或軟X射線)的輻射源，所述輻射源生成與所述聚光器單元的光學(xué)表面碰撞的 物質(zhì)和/或粒子；形成由所述輻射源發(fā)射的所述光學(xué)輻射一部分的輻射束的聚光器單元； 和設(shè)置在所述輻射源和所述聚光器單元之間的碎片減緩(debrismitigation)單元。本發(fā) 明還涉及一種具有適用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。