技術(shù)編號(hào)：2816683
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，尤指一種用于微影工藝上的。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工藝中，微影裝置被用來在晶片上形成所需電路圖案。通常，光阻涂布在晶片上。微影裝置將光照向光罩上所欲曝光的電路圖案，以將前述電路圖案轉(zhuǎn)移至在晶片上的光阻，其中光罩具有線路布局圖案，而線路布局圖案可等同或大于前述電路圖案?，F(xiàn)有微影裝置包含所謂的微影步進(jìn)機(jī)，微影步進(jìn)機(jī)將光投向整個(gè)電路圖案，以在每一曝光步驟，將電路圖案立即轉(zhuǎn)移至晶片上的一曝光區(qū)域(shot)?，F(xiàn)有微影裝置也包含掃描機(jī)(scanner)，掃描...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。