技術(shù)編號(hào)：2811005
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在基板的圖案區(qū)域的周邊區(qū)域照射含有紫外線的光來進(jìn)行周邊曝光的周邊曝光裝置。 背景技術(shù)利用曝光裝置對(duì)大型基板的圖案進(jìn)行曝光處理之后，需要預(yù)先對(duì)存在于圖案區(qū)域 周邊的周邊區(qū)域上的不需要的光阻劑墨液(以下稱光阻劑)進(jìn)行曝光，使其不會(huì)成為其后 工序的障礙。在專利文獻(xiàn)l(日本特許第3211079號(hào)公報(bào))中，使可調(diào)節(jié)照射光的開口部的 光源裝置在基板周圍旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行周邊曝光。該周邊曝光裝置不旋轉(zhuǎn)基板，而是通過光源裝 置在基板周圍旋轉(zhuǎn)并調(diào)節(jié)照射光的開口部來均勻地對(duì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。