技術編號：2810565
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種在制造半導體裝置、印刷基板或是液晶顯示器等產(chǎn) 品時作為防塵器使用的防護薄膜組件，特別是關于一種在制造液晶顯示器 時使用的大型防護薄膜組件。背景技術在LSI、超LSI等半導體或是液晶顯示板等產(chǎn)品的制造中，是用光照射 半導體晶圓或液晶用原板以制作形成圖案，惟若此時所使用的光罩或初縮 遮罩(以下僅稱光罩)有灰塵附著的話，由于該灰塵會吸收光，使光彎曲， 故除了會使轉印的圖案變形、使邊緣變粗糙以外，還會使基底污黑，并損 壞尺寸、品質、外觀等。因此，該...
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