專(zhuān)利名稱(chēng)：防護(hù)薄膜組件、收納防護(hù)薄膜組件的收納容器及收納方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種在制造半導(dǎo)體裝置、印刷基板或是液晶顯示器等產(chǎn) 品時(shí)作為防塵器使用的防護(hù)薄膜組件，特別是關(guān)于一種在制造液晶顯示器 時(shí)使用的大型防護(hù)薄膜組件。
背景技術(shù)：
在LSI、超LSI等半導(dǎo)體或是液晶顯示板等產(chǎn)品的制造中，是用光照射 半導(dǎo)體晶圓或液晶用原板以制作形成圖案，惟若此時(shí)所使用的光罩或初縮 遮罩(以下僅稱(chēng)光罩)有灰塵附著的話(huà)，由于該灰塵會(huì)吸收光，使光彎曲， 故除了會(huì)使轉(zhuǎn)印的圖案變形、使邊緣變粗糙以外，還會(huì)使基底污黑，并損 壞尺寸、品質(zhì)、外觀等。
因此，該等作業(yè)通常是在無(wú)塵室內(nèi)進(jìn)行，惟即使如此欲經(jīng)常保持光罩 清潔仍相當(dāng)困難。于是，我們遂在光罩表面貼附作為防塵器用的防護(hù)薄膜 組件后再進(jìn)行曝光。此時(shí)，異物并非直接附著于光罩表面上，而是附著于 防護(hù)薄膜組件上，故只要在微影步驟中將焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)光罩圖案上，防護(hù)薄膜 組件上的異物就不會(huì)對(duì)轉(zhuǎn)印造成影響。
一般而言，該防護(hù)薄膜組件，是用透光性良好的硝化纖維素、醋酸纖 維素或氟系樹(shù)脂等物質(zhì)構(gòu)成，對(duì)使用的光線透明的防護(hù)薄膜，并以鋁、不 銹鋼、聚乙烯等物質(zhì)構(gòu)成防護(hù)薄膜組件框架，將該防護(hù)薄膜貼附粘著于該 防護(hù)薄膜組件框架的上端面。接著，在防護(hù)薄膜組件框架的下端設(shè)置為裝 著于光罩上而由聚丁烯樹(shù)脂、聚醋酸乙烯酯樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂等物質(zhì)所構(gòu) 成的粘著層，以及保護(hù)粘著層的脫模層(隔離部)。接著，在保管、移送防護(hù) 薄膜組件時(shí)，便隔著隔離部將防護(hù)薄膜組件載置于收納容器上。
隔離部，通常是在PET樹(shù)脂等厚度100~200)Lim左右的薄膜上涂布脫 模劑，然后將薄膜切割加工成我們想要的形狀所制成的。隔離部，除了很 薄之外，其形狀跟框架形狀幾乎一樣呈框狀，會(huì)變得像軟性繩帶'故清洗 很困難，且在粘貼于遮罩粘接層等作業(yè)中的使用處理上也極不方便。又，隔離部必須用沒(méi)有接縫的整片原料片材制造。若有接縫等的高低 差的話(huà)，形狀會(huì)轉(zhuǎn)印到粘貼的遮罩粘接層上，有可能會(huì)影響遮罩粘貼后的
穩(wěn)定性。因此，對(duì)于大型防護(hù)薄膜組件，特別是一邊長(zhǎng)度超過(guò)500mm的大 型防護(hù)薄膜組件而言，除了片材制造困難之外，要完整地全面涂布好脫模 劑也很困難，而且這樣的隔離部在制造、取得上也不容易。
隔離部具有保護(hù)粘接劑的功能，在防護(hù)薄膜組件使用時(shí)便會(huì)被剝離然 后丟棄。如果能省略隔離部的話(huà)，便能根本解決這些問(wèn)題。通常防護(hù)薄膜 組件的粘接劑是以向下側(cè)(防護(hù)薄膜組件收納容器側(cè))的方式收納，惟為 了省略隔離部，遂考量例如將粘接劑置于上側(cè)而將防護(hù)薄膜的粘貼面?zhèn)戎?于下側(cè)。然而，此時(shí)，防護(hù)薄膜內(nèi)側(cè)在防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)變成朝向 上方，這樣的話(huà)最需要保護(hù)的部分反而變成有異物附著的危險(xiǎn)，故并不適 當(dāng)。因此，目前尚無(wú)文獻(xiàn)揭示一種在保存中不需要隔離部的防護(hù)薄膜組件 以及防護(hù)薄膜組件收納容器。
欲將防護(hù)薄膜組件固定在防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)，通常，是利用容 器本體與蓋體挾持防護(hù)薄膜組件，惟亦有嘗試?yán)霉潭ㄤN(xiāo)將防護(hù)薄膜框架
固定于防護(hù)薄膜組件容器內(nèi)者(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1 )。在此技術(shù)內(nèi)容中，由于 讓固定銷(xiāo)卡合于防護(hù)薄膜框架上，以將防護(hù)薄膜組件載置于容器本體上， 故在專(zhuān)利文獻(xiàn)l中隔離部實(shí)是不可欠缺的構(gòu)件。
到此為止，遮罩粘接劑層涵蓋防護(hù)薄膜框架整個(gè)寬度尚屬一般情形， 惟亦有文獻(xiàn)嘗試在防護(hù)薄膜框架的下端面設(shè)置溝部藉此讓遮罩粘接劑層的 寬度比防護(hù)薄膜框架的寬度更細(xì)(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2),在該溝部?jī)?nèi)形成粘接 劑層(或防護(hù)薄膜用的粘接劑層)可避免粘接劑層因?yàn)楸砻鎻埩Χ纬赏?狀，藉此提高表面的平坦性，但終歸無(wú)法不使用隔離部。
亦有嘗試設(shè)置寬度比防護(hù)薄膜框架的寬度更細(xì)的突出部藉此在防護(hù)薄 膜框架上形成未涂布遮罩粘接劑的部分(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3、專(zhuān)利文獻(xiàn)4)。 前者，是在從光罩剝離防護(hù)薄膜組件時(shí)將剝離工具卡合于防護(hù)薄膜框架中 未涂布粘接劑的段部，故防護(hù)薄膜組件尚無(wú)法不使用隔離部，后者，是在
隔離部上設(shè)置突出區(qū)域，將該突出部固定于防護(hù)薄膜組件收納容器上以輔 助我們從遮罩粘接層剝離隔離部， 一樣也無(wú)法不使用隔離部。日本特開(kāi)2006 - 267178號(hào)公報(bào)日本特開(kāi)2005 - 338722號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)3]日本特愿2006 - 135186 [專(zhuān)利文獻(xiàn)4]日本特愿2007 - 286483號(hào)公才艮

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)于防護(hù)薄膜組件，特別是至少一邊邊長(zhǎng) 超過(guò)500mm的大型防護(hù)薄膜組件而言，即使不使用隔離部也不會(huì)造成任何 障礙的防護(hù)薄膜組件以及防護(hù)薄膜組件收納容器。
以下，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，惟本發(fā)明并非僅限于此。以下述方式制作如圖2所示的防護(hù)薄膜組件。首先，利用機(jī)械加工將
5000系列的鋁合金切削制成長(zhǎng)邊外尺寸1600mm、短邊外尺寸1500mm、高 度5.8mm、寬度13mm的防護(hù)薄膜框架21,并在其表面實(shí)施黑色氧皮鋁處 理。用純水將該防護(hù)薄膜框架洗凈，待干燥之后，用曱苯稀釋硅氧粘接劑 (信越化學(xué)工業(yè)(股)制，商品名KR—3700),再用3軸正交涂布機(jī)進(jìn)行 涂布，制作出遮罩粘接劑層22。又，遮罩粘接劑層22的剖面形狀形成寬度 4mm、高度1.5mm的半圓形。此時(shí)，由于防護(hù)薄膜框架的寬度為13mm而 遮罩粘接劑層的寬度為4mm,故外側(cè)形成寬度9mm的未涂布區(qū)域。
再來(lái)，先用曱苯稀釋硅氧粘接劑(信越化學(xué)工業(yè)(股)制，商品名 KR—3700)，然后,涂布于該防護(hù)薄膜框架上并待其干燥后形成厚度0.1mm 的防護(hù)薄膜粘接劑層23,之后加熱到130。C使其硬化。然后，在尺寸大小 為1600x 1700mm且表面經(jīng)過(guò)研磨而相當(dāng)平滑的矩形石英基板上以模涂法涂 布氟樹(shù)脂(旭硝子股份有限公司制，商品名Cytop),待溶媒干燥后，從石 英基板剝除所形成的薄膜，便可制得厚度4pm的防護(hù)薄膜24。然后，將該 防護(hù)薄膜粘貼于該防護(hù)薄膜框架上，用切割器將外側(cè)不需要的薄膜切除掉， 便制得防護(hù)薄膜組件。
另夕卜，

圖1的防護(hù)薄膜組件收納容器，是對(duì)厚度5mm的黑色抗靜電ABS 樹(shù)脂(TORY股份有限公司制，商品名Toyolacparel)利用真空成型法進(jìn) 行成型，以制作出防護(hù)薄膜組件收納容器托盤(pán)14。又，同樣地，使用厚度 5mm的透明抗靜電ABS樹(shù)脂(TORY股份有限公司制，商品名 Toyolacparel),利用真空成型法制作出防護(hù)薄膜組件收納容器蓋體15。在防 護(hù)薄膜組件收納容器托盤(pán)14上讓ABS樹(shù)脂射出成型所制得的固定銷(xiāo)17與 固定銷(xiāo)保持機(jī)構(gòu)16嵌合于設(shè)置在防護(hù)薄膜框架外側(cè)側(cè)面上的夾具孔部b 內(nèi)，調(diào)整好位置之后便接合固定。再接下來(lái)，在防護(hù)薄膜組件收納容器托 盤(pán)14上，于接觸防護(hù)薄膜框架11中未涂布遮罩粘接劑的區(qū)域a的8個(gè)位置 上，設(shè)置由聚硅氧烷凝膠(信越化學(xué)工業(yè)(股)制，商品名KE1056)制 成的直徑8mm、厚度4mm的框架支持部18。
在無(wú)塵室內(nèi)用純水將該防護(hù)薄膜組件收納容器洗凈，待干燥之后，收 納該防護(hù)薄膜組件并用固定銷(xiāo)17以及固定銷(xiāo)保持機(jī)構(gòu)16固定防護(hù)薄膜組 件。
進(jìn)行評(píng)價(jià)的方式如下，將收納了防護(hù)薄膜組件的防護(hù)薄膜組件收納容
8器垂直立起并在保持1分鐘之后回復(fù)水平的動(dòng)作進(jìn)行3次，并在無(wú)塵室的
暗房?jī)?nèi)對(duì)防護(hù)薄膜組件的異物附著狀況進(jìn)行檢查。結(jié)果，附著在防護(hù)薄膜
組件上的異物未見(jiàn)增加。又，接觸框架支持部18的位置上也未發(fā)現(xiàn)有異物
附著的痕跡，當(dāng)然，遮罩粘接層上也完全未發(fā)現(xiàn)有接觸痕跡等的瑕疵。
若依本發(fā)明，即使不用隔離部也能保護(hù)粘接層，故能制得在保存中不
需要隔離部的防護(hù)薄膜組件以及防護(hù)薄膜組件收納容器，因此，特別是大
型防護(hù)薄膜組件的隔離部原料取得困難這個(gè)問(wèn)題能夠獲得解決，此外也不
會(huì)發(fā)生在輸送中或隔離部的剝離作業(yè)中隔離部本身產(chǎn)生塵屑的問(wèn)題，從防 止異物附著的觀點(diǎn)來(lái)看效果優(yōu)異，再者，除了節(jié)省隔離部本身的成本之外，
更能減少洗凈作業(yè)、粘貼作業(yè)等相關(guān)步驟的成本，故能降低整體制造成本。 由于本發(fā)明能夠達(dá)到上述各種效果，故在產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值極高。
權(quán)利要求
1、一種防護(hù)薄膜組件，其特征為在防護(hù)薄膜框架中，在形成有粘貼在遮罩上所需的粘接劑層的面內(nèi)的一部分上，形成未涂布遮罩粘接劑的區(qū)域；且在該防護(hù)薄膜框架的側(cè)面上設(shè)置非貫通的孔部，固定銷(xiāo)可插入該孔部，以防護(hù)薄膜框架的上下端面不接觸防護(hù)薄膜組件收納容器的方式固定該防護(hù)薄膜組件。
2、 一種防護(hù)薄膜組件收納容器，其由可載置防護(hù)薄膜組件的托盤(pán)與用 來(lái)密封該托盤(pán)的防護(hù)薄膜組件收納面的上蓋所構(gòu)成，其特征為在該托盤(pán)上設(shè)有防護(hù)薄膜框架支持部，該防護(hù)薄膜框架支持部以?xún)H接 觸形成于防護(hù)薄膜框架上的未涂布遮罩粘接劑的區(qū)域的方式來(lái)支持著防護(hù) 薄膜組件；且在該托盤(pán)上設(shè)有固定銷(xiāo)保持機(jī)構(gòu)，該固定銷(xiāo)保持機(jī)構(gòu)中可設(shè)置固定 銷(xiāo)，該固定銷(xiāo)可讓防護(hù)薄膜框架上下端面不接觸到防護(hù)薄膜組件收納容器 地固定該防護(hù)薄膜框架。
3、 如權(quán)利要求2所述的防護(hù)薄膜組件收納容器，其中 該防護(hù)薄膜框架支持部的材質(zhì)是從樹(shù)脂、橡膠以及聚硅氧烷凝膠所構(gòu)成的群組中選出之一種。
4、 如權(quán)利要求2或3所述的防護(hù)薄膜組件收納容器，其中 該防護(hù)薄膜框架支持部具有抗靜電性。
5、 一種在防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)保存防護(hù)薄膜組件的方法，其特征為將形成于防護(hù)薄膜框架上的未涂布遮罩粘接劑的區(qū)域載置于防護(hù)薄膜 框架支持部上；且將設(shè)置于固定銷(xiāo)保持機(jī)構(gòu)的固定銷(xiāo)插入設(shè)于防護(hù)薄膜框架側(cè)面上的固 定銷(xiāo)插入孔，以將防護(hù)薄膜組件固定于防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種防護(hù)薄膜組件、收納防護(hù)薄膜組件用的防護(hù)薄膜組件收納容器、及將防護(hù)薄膜組件保存于防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)的方法，特別是在大型防護(hù)薄膜組件中，可不使用隔離部而將防護(hù)薄膜組件保存于防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)。為達(dá)成上述目的，在防護(hù)薄膜框架的遮罩粘接劑側(cè)端面的一部分上形成未涂布遮罩粘接劑的區(qū)域，將該未涂布區(qū)域載置于設(shè)置在防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)部且由聚硅氧烷凝膠等材料所構(gòu)成的防護(hù)薄膜框架支持部上，再來(lái)，利用可插入設(shè)置在防護(hù)薄膜框架側(cè)面上的孔部?jī)?nèi)的固定銷(xiāo)與固定銷(xiāo)的保持機(jī)構(gòu)將防護(hù)薄膜框架保持固定在防護(hù)薄膜組件收納容器內(nèi)。由于不使用隔離部也能保護(hù)粘接層，故無(wú)須設(shè)置隔離部。
文檔編號(hào)G03F1/62GK101441405SQ20081017863
公開(kāi)日2009年5月27日 申請(qǐng)日期2008年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月22日
發(fā)明者關(guān)原一敏 申請(qǐng)人:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社