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光罩盒的承載盒及其固定件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2809511

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本發(fā)明涉及一種光罩盒的承載盒,特別是關(guān)于一種于光罩盒的承載盒 中配置多個(gè)固定件,用以固定承載盒中的光罩盒。背景技術(shù)近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速,其中光刻技術(shù)(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色,只要是關(guān)于圖形(pattern)定義,皆需依賴光刻技術(shù)。光 刻技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上,是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光 的光罩(photo mask)。利用曝光原理,則光源通過(guò)光罩投影至硅片(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任...
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