專利名稱：光罩盒的承載盒及其固定件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光罩盒的承載盒，特別是關(guān)于一種于光罩盒的承載盒 中配置多個固定件，用以固定承載盒中的光罩盒。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光刻技術(shù)(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需依賴光刻技術(shù)。光 刻技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計好的線路制作成具有特定形狀可透光 的光罩(photo mask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅片(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如微粒、 粉塵或有機物)都會造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩必須 保持絕對潔凈，因此在一般的硅片工藝中，都提供無塵室(clean room)的 環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達到絕對無塵 狀態(tài)。現(xiàn)代的半導(dǎo)體工藝皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)進行光罩
的保存與運輸，以使光罩保持潔凈。
而目前最為普遍的運送光罩方式，通常是先將單一個光罩存放于單一 個光罩盒當(dāng)中，再將多個光罩盒一同放置于一個光罩盒的運輸盒，并于光 罩盒的運輸?shù)暮袃?nèi)充填軟性物質(zhì)(如泡棉、海棉等)，減少光罩盒的運輸盒 的盒內(nèi)間隙，并通過加強并固定各個光罩盒，避免光罩盒的運輸盒于運送 光罩盒途中所產(chǎn)生的震動，影響存放于光罩盒中的光罩而導(dǎo)致光罩的摩擦 或損壞。然而，就光罩供貨商而言，出貨時除了需將光罩盒固定安置于光 罩盒的運輸盒內(nèi)以外，還必須以人工方式將軟性物質(zhì)充填于光罩盒的運輸 盒，并確保盒內(nèi)不會有過多個間隙；就光罩需求方而言，欲取出光罩盒時， 也必須先以人工方式將充填于光罩盒的運輸盒盒內(nèi)的軟性物質(zhì)取出，才得 以取出光罩盒，并且還需針對這些用來充填用的軟性物質(zhì)加以處里，因此。 供需雙方除了都需耗費時間與人力成本進行軟性物質(zhì)的包裝與拆卸以外，若將這些使用過的軟性物質(zhì)直接丟棄而不重復(fù)使用，這些無法自行分解的 軟性物質(zhì)又將對環(huán)境造成污染。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的主要目的在于提供一種將多個固定件配 置于光罩盒的承載盒中，用以固定承載盒中的光罩盒，以使承載盒中的光 罩盒具有較佳的防震與保護效果。
本發(fā)明的另一主要目的在于提供一種光罩盒的承載盒，其固定件具有 較佳的防止光罩摩擦或損壞，并減少塵粒的產(chǎn)生。
本發(fā)明的又一主要目的在于提供一種固定件，其具有較佳的彈性結(jié) 構(gòu)，可有效釋放應(yīng)力。
本發(fā)明還有一主要目的在于提供一種固定件，其具有較為簡單的裝設(shè) 方式，可易于單一固定件的拆換更替。
本發(fā)明的再一主要目的在于提供一種光罩盒的承載盒，另具有一氣密 墊圈可提供較佳的氣密效果。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種光罩盒的承載盒，另具有一止滑墊可 避免光罩盒的滑動，而造成光罩的震動。
依據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種配置于光罩盒的承載盒中的固定件。 此光罩盒的承載盒包含一上蓋體、 一下蓋體、多片隔板以及多個固定件， 上蓋體與下蓋體大致對應(yīng)以形成一容置空間，下蓋體具有數(shù)對導(dǎo)軌設(shè)于下 蓋體兩相對的內(nèi)表面?zhèn)让嫔?，隔板是由?dǎo)軌嵌入于下蓋體內(nèi)，將容置空間 分割成多個容置空間用以存放數(shù)個光罩盒，固定件則設(shè)置于上蓋體內(nèi)表面 的頂面，此固定件具有一頂部，此頂部兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一 對翼部，此對翼部于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部彎曲向下以使此對翼部的自由端形成夾 持部，并于此對翼部的轉(zhuǎn)折部再向此對翼部的自由端內(nèi)側(cè)傾斜延伸形成一 抵壓部，其中抵壓部與頂部間保持一第一間距。
因此，當(dāng)承載盒的上蓋體蓋合于下蓋體時，上蓋體的每一個固定件皆 可對應(yīng)存放于承載盒中的每一個光罩盒，固定件的夾持部可夾持光罩盒， 固定件的抵壓部可頂持光罩盒，以避免承載盒于運送光罩盒途中所產(chǎn)生的 震動，影響存放于光罩盒中的光罩而導(dǎo)致光罩的摩擦或損壞，因此具有較佳的防震與保護效果，并可減少塵粒的產(chǎn)生。


圖1是固定件的一較佳實施例示意圖； 圖2是固定件的另一較佳實施例示意圖;
圖3是固定件的又一較佳實施例示意圖;
圖4是光罩盒的承載盒的側(cè)視圖5是光罩盒的承載盒的上視圖6是承載盒的側(cè)視圖7是光罩盒的承載盒的透視圖。
主要元件符號說明
1固定件 10頂部
102 圓柱頂體
104鎖固孔
12翼部
122轉(zhuǎn)折部
124第一圓弧凹槽
14夾持部
16抵壓部
18支撐部
182第二圓弧凹槽
2承載盒
20上蓋體
22下蓋體
220 導(dǎo)軌
24隔板
26a扣合元件 26b扣合邊部28容置光罩盒的空間 3光罩盒
30鉸鏈 32氣密墊圈 34止滑墊 Al第一夾角 A2第二夾角 Cl第一間距 C2第二間距
C3夾持部與夾持部間的距離 C4盒體寬度
具體實施例方式
由于本發(fā)明揭露一種光罩盒的承載盒，特別是一種于光罩盒的承載盒 中配置多個固定件，并通過這些固定件來固定承載盒中的光罩盒。由于， 本發(fā)明所利用到的一些光罩或光罩盒的詳細制造或處理過程，是利用現(xiàn)有 技術(shù)來達成，故在下述說明中，并不作完整描述。而且文中的圖式，亦并 未依據(jù)實際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達與本發(fā)明特征有關(guān)的示 意圖。
圖1是根據(jù)本發(fā)明固定件的一較佳實施例示意圖，此固定件1具有一 頂部10，并配置一鎖固孔104于頂部10的頂面上，以供一鎖固件(未示于 圖中)固定此固定件1，頂部IO兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一對翼部 12，這對翼部12于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部122彎曲向下以使這對翼部12的自由端 各形成一夾持部14，并且又于這對翼部12的轉(zhuǎn)折部122再向這對翼部12 的自由端內(nèi)側(cè)分枝并傾斜延伸以形成一抵壓部16，其中抵壓部16與頂部 10間保持一第一間距Cl，可于頂部10受到施壓時形成一緩沖空間。
承上所述，抵壓部16的形狀近似一 V形結(jié)構(gòu)，且于整體結(jié)構(gòu)中兩端 的厚度較中央部位為薄，而頂部10與翼部12側(cè)傾斜延伸所形成的一第一 夾角Al為一鈍角，其角度為100度~170度，而其較佳的設(shè)計為120度~160 度；此外，翼部12于轉(zhuǎn)折部122傾斜延伸所形成抵壓部16的一第二夾角
7A2為一銳角，其角度為10度 75度，而其較佳的設(shè)計為20度~60度；另 外，并于每一轉(zhuǎn)折部122與自由端之間形成一第一圓弧凹槽124，故此固 定件l具有較佳的彈性結(jié)構(gòu)，可有效釋放應(yīng)力。很明顯地，固定件l的頂 部10、翼部12、轉(zhuǎn)折部122、夾持部14與抵壓部16為一體成形的結(jié)構(gòu)，
其是由彈性材質(zhì)所制成，而所制成的材料可由以下材料中選出高分子材 料、塑料材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一 種耐磨的材質(zhì)。
圖2是根據(jù)本發(fā)明固定件的另一較佳實施例示意圖，此固定件1具有 一頂部10，配置一鎖固孔104于頂部10的頂面上，以供一鎖固件(未示于 圖中)固定此固定件1，另配置一圓柱頂體102于頂部10，.此圓柱頂體102 為一中空頂體，頂部IO兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一對翼部12，這 對翼部12于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部122彎曲向下以使這對翼部12的自由端各形成 一夾持部14，并且又于這對翼部12的轉(zhuǎn)折部122再向這對翼部12的自由 端內(nèi)側(cè)分枝并傾斜延伸以形成一抵壓部16，其中抵壓部16與圓柱頂體102 間保持一第二間距C2，可于頂部10受到施壓時形成一緩沖空間，且圓柱 頂體102的長度可為頂部10與抵壓部16最低處的距離的1/4~3/4，或亦 可為頂部10與抵壓部16最低處的距離的一半。
承上所述，抵壓部16的形狀近似一 V形結(jié)構(gòu)，且于整體結(jié)構(gòu)中兩端 的厚度較中央部位為薄，而頂部10與翼部12側(cè)傾斜延伸所形成的一第一 夾角Al為一鈍角，其角度為100度 170度，而其較佳的設(shè)計為120度~160 度；此外，翼部12于轉(zhuǎn)折部122傾斜延伸所形成抵壓部16的一第二夾角 A2為一銳角，其角度為10度 75度，而其較佳的設(shè)計為20度~60度；另 外，并于每一轉(zhuǎn)折部122與自由端之間形成一第一圓弧凹槽124，故此固 定件1具有較佳的彈性結(jié)構(gòu)，可有效釋放應(yīng)力。頂部10、翼部12、轉(zhuǎn)折 部122、夾持部14與抵壓部16為一體成形的結(jié)構(gòu)，其是由彈性材質(zhì)所制 成，而所制成的材料可由以下材料中選出高分子材料、塑料材料、聚乙 烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一種耐磨的材質(zhì)。很明 顯地，上述的固定件l具有較為簡單的結(jié)構(gòu)，可使用一般的射出成形方式 一體成形，故其制造的成本非常低。
圖3是根據(jù)本發(fā)明固定件的又一較佳實施例示意圖，此固定件1具有
8一頂部10，配置一鎖固孔104于頂部10的頂面上，以供一鎖固件(未示于
圖中)固定此固定件l，另配置一圓柱頂體102于頂部10，此圓柱頂體102 為一中空頂體，頂部IO兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一對翼部12，這 對翼部12于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部122彎曲向下以使這對翼部12的自由端各形成 一夾持部14，并且又于這對翼部12的轉(zhuǎn)折部122再向這對翼部12的自由 端內(nèi)側(cè)分枝并傾斜延伸以形成一抵壓部16，而夾持部14與抵壓部16之間 另設(shè)有至少一支撐部18，其中，支撐部18與抵壓部16連接處的厚度較支 撐部18其它部分為薄，且支撐部18與抵壓部16連接處具一第二圓弧凹 槽182，其中抵壓部16與圓柱頂體102間保持一第二間距C2，可于頂部 10受到施壓時形成一緩沖空間，且圓柱頂體102的長度可為頂部10與抵 壓部16最低處的距離的1/4~3/4，或亦可為頂部10與抵壓部16最低處的 距離的一半，故此固定件1具有較為堅固且有較佳的彈性構(gòu)造。
承上所述，抵壓部16的形狀近似一 V形結(jié)構(gòu)，且于整體結(jié)構(gòu)中兩端 的厚度較中央部位為薄，而頂部10與翼部12側(cè)傾斜延伸所形成的一第一 夾角Al為一鈍角，其角度為100度~170度，而其較佳的設(shè)計為120度~160 度；此外，翼部12于轉(zhuǎn)折部122傾斜延伸所形成抵壓部16的一第二夾角 A2為一銳角，其角度為10度 75度，而其較佳的設(shè)計為20度 60度；另 外，并于每一轉(zhuǎn)折部122與自由端之間形成一第一圓弧凹槽124，故此固 定件1具有較佳的彈性結(jié)構(gòu)，可有效釋放應(yīng)力。頂部10、翼部12、轉(zhuǎn)折 部122、夾持部14、抵壓部16與支撐部18為一體成形的結(jié)構(gòu)，其是由彈 性材質(zhì)所制成，而所制成的材料可由以下材料中選出高分子材料、塑料 材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一種耐磨的 材質(zhì)。
圖4與圖5是根據(jù)本發(fā)明承載盒的一較佳實施例示意圖，此承載盒2 包括一具有容置空間的上蓋體20及一具有容置空間的下蓋體22，故可將 上蓋體20與下蓋體22大致對應(yīng)以形成一可容納物件(例如光罩盒)的容置 空間；此外，于下蓋體22的容置空間中，配置至少一隔板24，且至少一 對導(dǎo)軌220配置于下蓋體22的容置空間中的兩相對的內(nèi)表面?zhèn)让嫔?，?提供隔板24嵌入，用以將承載盒2的容置空間分割成多個容置光罩盒的 空間28。此外，承載盒2另具有數(shù)個扣合元件26a與數(shù)個扣合邊部26b，扣合 元件26a是設(shè)于下蓋體22的外側(cè)的側(cè)邊上，扣合邊部26b則是設(shè)于上蓋 體20的外側(cè)的側(cè)邊上，扣合元件26a與扣合邊部26b是設(shè)置于相互對應(yīng) 的不同蓋體上；此外，上蓋體20與下蓋體22的一側(cè)邊是以鉸鏈30方式 相互接合，并具有一氣密墊圈32設(shè)于下蓋體的蓋體開口處，可提供承載 盒2達到較佳的氣密效果，而另具有一止滑墊34鋪設(shè)于下蓋體內(nèi)的底面， 可避免放置于承載盒2中的光罩盒滑動，而造成光罩的震動。
圖6是根據(jù)本發(fā)明承載盒的一較佳實施例示意圖，此承載盒2包括一 具有容置空間的上蓋體20及一具有容置空間的下蓋體22，故可將上蓋體 20與下蓋體22大致對應(yīng)以形成一可容納光罩盒的容置空間；此外，于下 蓋體22的容置空間中，配置至少一隔板24，并進一步于上蓋體20的容置 空間的內(nèi)側(cè)頂面上配置至少一固定件1;此外，于下蓋體22的容置空間中， 且至少一對導(dǎo)軌220配置于下蓋體22的容置空間中的兩相對的內(nèi)表面?zhèn)?面上，以提供隔板24嵌入，用以將容置空間分割成多個容置空間28。
如上所述，本發(fā)明的固定件1是設(shè)置于上蓋體20的容置空間的內(nèi)側(cè) 頂面上。固定件1具有一頂部10，頂部10兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸 的一對翼部12，這對翼部12于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部122彎曲向下以使這對翼部 12的自由端各形成一夾持部14，并且又于這對翼部12的轉(zhuǎn)折部122再向 這對翼部12的自由端內(nèi)側(cè)分枝并傾斜延伸以形成一抵壓部16，其中抵壓 部16與頂部10間保持一第一間距Cl，可于頂部10受到施壓時形成一緩 沖空間。
此外，本發(fā)明另提供數(shù)種將固定件1固定于上蓋體20內(nèi)表面的頂面 上的方式，如固定件1可利用鎖固件(未示于圖中)固定于于承載盒2上， 因此固定件1配置一鎖固孔104于頂部10的頂面上，而鎖固件可為一螺 絲元件；或是固定件1可利用粘膠接合方式固定于承載盒2上；或是固定 件1與承載盒2 —體成型所制成，故此固定件1具有較為簡單的裝設(shè)方式， 可易于單一固定件的拆換更替。
圖7是根據(jù)本發(fā)明的承載盒用于承載光罩盒的一較佳實施例示意圖， 此光罩盒3的承載盒2包括一具有容置空間的上蓋體20及一具有容置空 間的下蓋體22，故可將上蓋體20與下蓋體22大致對應(yīng)以形成一可容納光
10罩盒的容置空間；此外，于下蓋體22的容置空間中，配置至少一隔板24，
并進一步于上蓋體20的容置空間的內(nèi)側(cè)頂面上配置至少一固定件1;此
外，于下蓋體22的容置空間中，且至少一對導(dǎo)軌220配置于下蓋體22的 容置空間中的兩相對的內(nèi)表面?zhèn)让嫔希蕴峁└舭?4嵌入，用以將容置 空間分割成多個容置空間28。
當(dāng)多個光罩盒3依序放置于承載盒2的容置空間28后，當(dāng)上蓋體20 蓋合于下蓋體22時，上蓋體20的每一個固定件1皆可對應(yīng)存放于承載盒 2中的每一個光罩盒3，因此，固定件1的夾持部14可夾持光罩盒3，并 且可再通過固定件1的抵壓部16頂持住光罩盒3，以避免承載盒2于運送 光罩盒3途中所產(chǎn)生的震動，影響存放于光罩盒3中的光罩，而導(dǎo)致光罩 的摩擦或損壞，因此具有較佳的防震與保護效果，并可減少塵粒的產(chǎn)生。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利范 圍；同時以上的描述，對于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng)可明了及實施， 因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包 含在下述的申請專利范圍中。
權(quán)利要求
1、一種固定件，其特征在于包括一頂部，該頂部兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一對翼部，該對翼部于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折部彎曲向下以使該對翼部的自由端形成夾持部，并于該對翼部的轉(zhuǎn)折部再向該對翼部的自由端內(nèi)側(cè)分枝并傾斜延伸以形成一抵壓部，其中該抵壓部與該頂部間保持一第一間距。
2、 一種承載盒，包括一具有第一容置空間的上蓋體及一具有第二容置空間的下蓋體，該上蓋體與該下蓋體蓋合后形成一第三容置空間，該下 蓋體的容置空間的兩相對的內(nèi)表面上配置至少一對導(dǎo)軌，提供至少一隔板 嵌入，用以將容置空間分割成多個容置空間，并進一步于上蓋體的容置空 間的內(nèi)側(cè)頂面上配置至少一固定件，其特征在于，該固定件具有一頂部， 該頂部兩側(cè)各配置有向外側(cè)傾斜延伸的一對翼部，該對翼部于一適當(dāng)轉(zhuǎn)折 部彎曲向下以使該對翼部的自由端形成夾持部，并于該對翼部的轉(zhuǎn)折部再 向該對翼部的自由端內(nèi)側(cè)傾斜延伸形成一抵壓部，其中該抵壓部與該頂部 間保持一第一間距。
3、 如權(quán)利要求2所述的固定件，其特征在于，還配置一圓柱頂體于 該頂部。
4、 如權(quán)利要求3所述的固定件，其特征在于，該圓柱頂體為一中空 頂體。
5、 如權(quán)利要求3所述的固定件，其特征在于，該抵壓部與該圓柱頂 體間保持一第二間距。
6、 如權(quán)利要求3所述的固定件，其特征在于，該圓柱頂體長度為該 頂部與該抵壓部最低處的距離的1/2~3/4。
7、 如權(quán)利要求2所述的固定件，其特征在于，該頂部與該翼部側(cè)傾 斜延伸所形成的一第一夾角為一鈍角。
8、 如權(quán)利要求2所述的固定件，其特征在于，該翼部于該轉(zhuǎn)折部傾 斜延伸所形成該抵壓部的一第二夾角為一銳角。
9、 如權(quán)利要求2所述的固定件，其特征在于，該抵壓部形成一近似V形結(jié)構(gòu)。
10、如權(quán)利要求2所述的固定件，其特征在于，該夾持部與該抵壓部 之間設(shè)有至少一支撐部。
全文摘要
本發(fā)明一種光罩盒的承載盒及其固定件，該光罩盒的承載盒是由上蓋體與下蓋體大致對應(yīng)以形成一容置空間，下蓋體具有數(shù)對導(dǎo)軌設(shè)于下蓋體兩相對的內(nèi)表面?zhèn)让嫔?，隔板由?dǎo)軌嵌入于下蓋體內(nèi)，將容置空間分割成多個容置空間用以存放光罩盒，固定件設(shè)置于上蓋體內(nèi)表面的頂面，其具有一夾持部與一抵壓部。當(dāng)上蓋體蓋合于下蓋體時，上蓋體的每一個固定件皆可對應(yīng)存放于承載盒中的每一個光罩盒，固定件的夾持部可夾持光罩盒，固定件的抵壓部可頂持光罩盒，以避免承載盒于運送光罩盒途中所產(chǎn)生的震動，影響存放于光罩盒中的光罩而導(dǎo)致光罩的摩擦或損壞，因此具有較佳的防震與保護效果。
文檔編號G03F7/20GK101661226SQ200810146400
公開日2010年3月3日 申請日期2008年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月27日
發(fā)明者呂保儀 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司