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具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2809442

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本發(fā)明涉及一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu),尤其涉及一種具 有大行程調(diào)節(jié)功能的硅片臺(tái)調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)整場(chǎng)調(diào)焦調(diào)平一般是在硅片表面3個(gè)或3個(gè)以上不同位置處進(jìn)行離焦量 測(cè)量,來(lái)計(jì)算并校正整個(gè)硅片表面的離焦量和傾斜量,實(shí)質(zhì)就是在坐標(biāo)系中 調(diào)節(jié)6x, 6y和Z向三個(gè)自由度,(其中6x是繞X軸的轉(zhuǎn)動(dòng),6 y是繞Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)),達(dá)到硅片調(diào)焦調(diào)平的目的。專利US005204712A公開(kāi)了一個(gè)3自由度的微動(dòng)臺(tái)。該臺(tái)的基本原理是通 過(guò)三組凸輪機(jī)構(gòu),分布在三個(gè)點(diǎn)上,三...
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