技術(shù)編號(hào):2809442
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu),尤其涉及一種具 有大行程調(diào)節(jié)功能的硅片臺(tái)調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)整場(chǎng)調(diào)焦調(diào)平一般是在硅片表面3個(gè)或3個(gè)以上不同位置處進(jìn)行離焦量 測(cè)量,來(lái)計(jì)算并校正整個(gè)硅片表面的離焦量和傾斜量,實(shí)質(zhì)就是在坐標(biāo)系中 調(diào)節(jié)6x, 6y和Z向三個(gè)自由度,(其中6x是繞X軸的轉(zhuǎn)動(dòng),6 y是繞Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)),達(dá)到硅片調(diào)焦調(diào)平的目的。專利US005204712A公開(kāi)了一個(gè)3自由度的微動(dòng)臺(tái)。該臺(tái)的基本原理是通 過(guò)三組凸輪機(jī)構(gòu),分布在三個(gè)點(diǎn)上,三...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。