專利名稱：具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種具 有大行程調(diào)節(jié)功能的硅片臺調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
整場調(diào)焦調(diào)平一般是在硅片表面3個或3個以上不同位置處進(jìn)行離焦量 測量，來計算并校正整個硅片表面的離焦量和傾斜量，實(shí)質(zhì)就是在坐標(biāo)系中 調(diào)節(jié)6x, 6y和Z向三個自由度，(其中6x是繞X軸的轉(zhuǎn)動，6 y是繞Y軸的轉(zhuǎn)動)，達(dá)到硅片調(diào)焦調(diào)平的目的。專利US005204712A公開了一個3自由度的微動臺。該臺的基本原理是通 過三組凸輪機(jī)構(gòu)，分布在三個點(diǎn)上，三個驅(qū)動點(diǎn)通過一個柔性機(jī)構(gòu)連接到承 片臺上，并用簧片導(dǎo)向，共同驅(qū)動承片臺，從而實(shí)現(xiàn)調(diào)平和調(diào)焦功能。該臺 的3個自由度調(diào)節(jié)量不大，尤其是Z向自由度不能實(shí)現(xiàn)大行程調(diào)節(jié)。中國專利CN2580470公開了 一種三自由度超精密定位平臺。該臺體內(nèi)部 呈等邊三角形固定有三組各自獨(dú)立的壓電陶瓷預(yù)緊機(jī)構(gòu)。該臺結(jié)構(gòu)緊湊，精 度較高，但是調(diào)節(jié)范圍小，壓電陶瓷易發(fā)熱，也不易進(jìn)行恒溫控制。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供的一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)Z向 大行程調(diào)節(jié)和z向微量調(diào)節(jié)，提高了動態(tài)性能和調(diào)節(jié)精度，適應(yīng)不同的應(yīng)用場合和不同的硅片厚度規(guī)格。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦才幾構(gòu)，包含小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和設(shè)置在該小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)下部的大行程調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu)；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包含 調(diào)平調(diào)焦底板；中心設(shè)置在調(diào)平調(diào)焦底板上的簧片，該簧片具有若干自由端； 上平板；連接所述簧片自由端和上平板的若干小行程楔形機(jī)構(gòu)； 連接所述小行程楔形機(jī)構(gòu)的若干小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)； 所述的小行程楔形機(jī)構(gòu)包含連接所述簧片的三角斧反，該三角板通過一個柔性連接塊連接所述的上平板；設(shè)置在所述三角板下部的調(diào)平調(diào)焦?jié)L子； 固定在所述調(diào)平調(diào)焦底板上的導(dǎo)軌；設(shè)置在所述導(dǎo)軌上的楔形塊，該楔形塊的上表面具有坡度，該楔形塊可 以沿導(dǎo)軌滑動；所述的小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含 連接所述楔形塊的轉(zhuǎn)接板；設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接板另 一側(cè)上的螺桿，該螺桿通過螺母帶動轉(zhuǎn)接板產(chǎn)生水 平位移；連接所述螺桿的驅(qū)動電機(jī)；連接所述轉(zhuǎn)接板和驅(qū)動電機(jī)的若干消隙拉簧，消除螺桿的回程間隙，提 高定位精度；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包含若干與小行程楔形機(jī)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置的測 量反饋模塊；以及連接所述測量反饋模塊和驅(qū)動電機(jī)的控制驅(qū)動模塊；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包含若干連接所述調(diào)平調(diào)焦底板和簧片的彈簧；所述的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包含 底板；設(shè)置在底板上的若千圓弧導(dǎo)軌；設(shè)置在所述圓弧導(dǎo)軌上的楔形塊驅(qū)動板，該驅(qū)動板具有若干自由端，該 自由端可以沿所述的圓弧導(dǎo)軌滑動；設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板自由端上的若干大行程楔形機(jī)構(gòu)； 連接所述楔形驅(qū)動板的大行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)；設(shè)置在所述底板上的若千調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)限制了調(diào) 平調(diào)焦底板只能在Z向運(yùn)動；所述的大4亍程楔形機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述調(diào)平調(diào)焦底板下側(cè)面的滾子；設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板自由端上的大行程楔形塊；還包含連接所述大行程楔形塊的楔形塊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在裝配時，可以通過 該楔形塊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)大行程楔形塊的初裝位置，/人而調(diào)節(jié)調(diào)平調(diào)焦臺的裝 配平行度；所述的大行程驅(qū)動^/L構(gòu)包含連接所述楔形驅(qū)動板的轉(zhuǎn)接件；設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接件上的螺桿，該螺桿通過螺母帶動轉(zhuǎn)接件產(chǎn)生位移； 連接所述螺桿的大行程驅(qū)動電機(jī)；連接所述轉(zhuǎn)接板和大行程驅(qū)動電機(jī)的若干消隙拉簧，消除螺桿的回程間 隙，提高定位精度；所述的調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述底板上的垂直導(dǎo)軌，通過導(dǎo)軌安裝塊安裝在底板上；設(shè)置在所述垂直導(dǎo)軌上的滑塊轉(zhuǎn)接件，該滑塊轉(zhuǎn)接件的上端連接所述的 調(diào)平調(diào)焦底板的下部，可以沿垂直導(dǎo)軌滑動；連接所述底板和調(diào)平調(diào)焦底板的若干拉簧，使調(diào)平調(diào)焦底板緊緊的和大 行程楔形機(jī)構(gòu)結(jié)合在一起；所述的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包含連接所述大行程楔形機(jī)構(gòu)和大行程驅(qū)動機(jī) 構(gòu)的控制模塊。本發(fā)明的工作原理如下Z向大行程調(diào)節(jié)控制模塊控制電機(jī)轉(zhuǎn)動，帶動螺桿轉(zhuǎn)動，經(jīng)過螺母和 轉(zhuǎn)接件，把螺桿的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換成楔形驅(qū)動板沿圓弧導(dǎo)軌的轉(zhuǎn)動，從而使大行程 楔形塊做直線運(yùn)動，滾子在大行程楔形塊的推動下，帶動調(diào)平調(diào)焦底板做Z 向直線運(yùn)動，實(shí)現(xiàn)硅片厚度補(bǔ)償；Z向小行程調(diào)節(jié)根據(jù)測量反饋模塊反饋的數(shù)據(jù)，控制驅(qū)動模塊驅(qū)動電 機(jī)把轉(zhuǎn)動傳遞給螺桿，經(jīng)過螺母和轉(zhuǎn)接板，最后把電機(jī)的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換成楔形塊 的直線運(yùn)動，在楔形塊的推動下，調(diào)平調(diào)焦?jié)L子帶動三角板沿著Z向作直線 運(yùn)動，從而帶動上平板實(shí)現(xiàn)垂直方向的三自由度運(yùn)動補(bǔ)償。本發(fā)明提供的一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)Z向大行 程調(diào)節(jié)和Z向微量調(diào)節(jié)，提高了動態(tài)性能和調(diào)節(jié)精度，Z向大行程調(diào)節(jié)的定 位精度可以達(dá)到微米級，運(yùn)動軌跡線性好，控制邏輯簡單，Z向小行程調(diào)節(jié) 的定位精度能達(dá)到數(shù)十納米，適應(yīng)不同的應(yīng)用場合和不同的硅片厚度規(guī)格。


圖1是本發(fā)明提供的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明提供的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的小行程調(diào)平 調(diào)焦機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2中小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖4是本發(fā)明提供的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的小行程楔形 機(jī)構(gòu)和小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4中小行程楔形機(jī)構(gòu)和小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖6是本發(fā)明提供的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)的大行程調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是圖6中大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的立體圖。
具體實(shí)施方式
以下根據(jù)圖1~圖7，具體說明本發(fā)明的較佳實(shí)施方式 如圖l所示，本發(fā)明提供了一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)， 包含小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和設(shè)置在該小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)下部的大行程調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu)；如圖2和圖3所示，所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包含調(diào)平調(diào)焦底板7;中心設(shè)置在調(diào)平調(diào)焦底板7上的簧片2，該簧片2具有若干自由端； 上平板l;連接所述簧片2自由端和上平板1的若干小行程楔形機(jī)構(gòu)； 連接所述小行程楔形機(jī)構(gòu)的若干小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)； 如圖4和圖5所示，所述的小行程楔形機(jī)構(gòu)包含 連接所述簧片2的三角板3，該三角板3通過一個柔性連接塊14連接所 述的上平板l;設(shè)置在所述三角板3下部的調(diào)平調(diào)焦?jié)L子4; 固定在所述調(diào)平調(diào)焦底板7上的導(dǎo)軌6;設(shè)置在所述導(dǎo)軌6上的楔形塊5,該楔形塊5的上表面具有坡度，該楔 形塊可以沿導(dǎo)軌6滑動；如圖4和圖5所示，所述的小行程驅(qū)動才幾構(gòu)包含 連接所述楔形塊5的轉(zhuǎn)接板10;設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接板10另一側(cè)上的螺桿9,該螺桿9通過螺母12帶動轉(zhuǎn) 接板1G產(chǎn)生水平位移；連接所述螺桿9的驅(qū)動電機(jī)8;連接所述轉(zhuǎn)接板10和驅(qū)動電機(jī)8的若干消隙拉簧11，消除螺桿9的回 程間隙，提高定位精度；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包含若干與小行程楔形機(jī)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置的測 量反饋模塊；以及連接所述測量反饋模塊和驅(qū)動電機(jī)的控制驅(qū)動模塊；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包含若干連接所述調(diào)平調(diào)焦底板7和簧片 2的彈簧15;如圖6和圖7所示，所述的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包含 底板106;設(shè)置在底板106上的若干圓弧導(dǎo)軌113;設(shè)置在所述圓弧導(dǎo)軌113上的楔形塊驅(qū)動板107,該驅(qū)動板107具有若 干自由端，該自由端可以沿所述的圓弧導(dǎo)軌113滑動；設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板107自由端上的若干大行程楔形機(jī)構(gòu)；連接所述楔形驅(qū)動板的大行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)；設(shè)置在所述底板106上的若干調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)限制 了調(diào)平調(diào)焦底板7只能在Z向運(yùn)動；所述的大行程楔形機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述調(diào)平調(diào)焦底板7下側(cè)面的滾子100;設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板107自由端上的大行程楔形塊101;還包含連接所述大行程楔形塊101的楔形塊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)102，在裝配時， 可以通過該楔形塊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)102調(diào)節(jié)大行程楔形塊101的初裝位置，從而調(diào) 節(jié)調(diào)平調(diào)焦臺的裝配平行度；所述的大行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含連接所述楔形驅(qū)動板107的轉(zhuǎn)接件111;設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接件111上的螺桿112,該螺桿112通過螺母110帶動轉(zhuǎn) 接件lll產(chǎn)生位移；連接所述螺桿112的大行程驅(qū)動電機(jī)108;連接所述轉(zhuǎn)接件111和大行程驅(qū)動電機(jī)108的若干消隙拉簧109，消除 螺桿的回程間隙，^是高定位精度；所述的調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述底板106上的垂直導(dǎo)軌104,通過導(dǎo)軌安裝塊105安裝在底 板106上;設(shè)置在所述垂直導(dǎo)軌104上的滑塊轉(zhuǎn)接件103，該滑塊轉(zhuǎn)接件103的上 端連接所述的調(diào)平調(diào)焦底板7的下部，可以沿垂直導(dǎo)軌104滑動；連接所述底板106和調(diào)平調(diào)焦底板7的若干拉簧114,使調(diào)平調(diào)焦底板7 緊緊的和大行程楔形機(jī)構(gòu)結(jié)合在 一起；構(gòu)的控制模塊。本實(shí)施例中，進(jìn)行Z向大行程調(diào)節(jié)，分別設(shè)置三套大行程楔形機(jī)構(gòu)和調(diào) 平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，大行程運(yùn)動由旋轉(zhuǎn)編碼器測量控制，首先控制電機(jī)108 轉(zhuǎn)動，帶動螺桿112轉(zhuǎn)動，經(jīng)過螺母IIO和轉(zhuǎn)接件111,把螺桿112的轉(zhuǎn)動 轉(zhuǎn)換成楔形驅(qū)動板107沿圓弧導(dǎo)軌113的轉(zhuǎn)動，從而使大行程楔形塊101做直線運(yùn)動，滾子100在大行程楔形塊101的推動下，帶動調(diào)平調(diào)焦底板7 4故 Z向直線運(yùn)動，實(shí)現(xiàn)硅片厚度補(bǔ)償。進(jìn)行Z向小行程調(diào)節(jié)時，三套相同的小行程楔形機(jī)構(gòu)和小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu) 實(shí)現(xiàn)調(diào)平調(diào)焦的三自由度控制，小行程楔形機(jī)構(gòu)分別位于圖3中的Al、 A2 和A3處，三點(diǎn)決定一個平面，才艮據(jù)位于16a， 16b, 16c處的三個位移傳感器(或 者電渦流傳感器等)反饋的數(shù)據(jù)，控制驅(qū)動模塊驅(qū)動電機(jī)8把轉(zhuǎn)動傳遞給螺 桿9,經(jīng)過螺母12和轉(zhuǎn)接板10,最后把電機(jī)的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換成楔形塊5的直線運(yùn) 動，在楔形塊5的推動下，調(diào)平調(diào)焦?jié)L子4帶動三角板3沿著Z向作直線運(yùn) 動，從而帶動上平板l實(shí)現(xiàn)垂直方向的三自由度運(yùn)動補(bǔ)償。本發(fā)明提供的一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)Z向大行 程調(diào)節(jié)和Z向微量調(diào)節(jié)，提高了動態(tài)性能和調(diào)節(jié)精度，Z向大行程調(diào)節(jié)的定 位精度可以達(dá)到^:米級，運(yùn)動軌跡線性好，控制邏輯簡單，Z向小行程調(diào)節(jié) 的定位精度能達(dá)到數(shù)十納米，適應(yīng)不同的應(yīng)用場合和不同的硅片厚度規(guī)格。
權(quán)利要求
1.一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，包含小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和設(shè)置在該小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)下部的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)包含調(diào)平調(diào)焦底板(7)；中心設(shè)置在調(diào)平調(diào)焦底板(7)上的簧片(2)，該簧片(2)具有若干自由端；上平板(1)；連接所述簧片(2)自由端和上平板(1)的若干小行程楔形機(jī)構(gòu)；連接所述小行程楔形機(jī)構(gòu)的若干小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)；所述的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包含底板(106)；設(shè)置在底板(106)上的若干圓弧導(dǎo)軌(113)；設(shè)置在所述圓弧導(dǎo)軌(113)上的楔形塊驅(qū)動板(107)，該驅(qū)動板(107)具有若干自由端，該自由端可以沿所述的圓弧導(dǎo)軌(113)滑動；設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板(107)自由端上的若干大行程楔形機(jī)構(gòu)；連接所述楔形驅(qū)動板的大行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)；設(shè)置在所述底板(106)上的若干調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求l所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的小行程楔形機(jī)構(gòu)包含連接所述簧片(2 )的三角板(3 )，該三角板(3 )通過一個柔性連接 塊(14)連接所述的上平板(1);設(shè)置在所述三角板(3)下部的調(diào)平調(diào)焦?jié)L子(4); 固定在所述調(diào)平調(diào)焦底板(7 )上的導(dǎo)軌(6 );設(shè)置在所述導(dǎo)軌(6 )上的楔形塊(5 )，該楔形塊(5 )的上表面具有 坡度，該楔形塊可以沿導(dǎo)軌(6)滑動。
3. 如權(quán)利要求1所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的小行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含連接所述楔形塊(5 )的轉(zhuǎn)接板(10 );設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接板(10)另一側(cè)上的螺桿(9),該螺桿(9)通過螺母(12)帶動轉(zhuǎn)接板(10)產(chǎn)生水平位移； 連接所述螺桿(9 )的驅(qū)動電機(jī)(8 );連接所述轉(zhuǎn)接板(10)和驅(qū)動電機(jī)(8)的若干消隙拉簧(11)。
4. 如權(quán)利要求l所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)還包含若干與小行程楔形機(jī)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置的測 量反饋模塊；以及連接所述測量反饋模塊和驅(qū)動電機(jī)的控制驅(qū)動模塊；還 包含若干連接所述調(diào)平調(diào)焦底板(7 )和簧片(2 )的彈簧(15 )。
5. 如權(quán)利要求l所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的大行程楔形機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述調(diào)平調(diào)焦底板(7)下側(cè)面的滾子(100); 設(shè)置在所述楔形驅(qū)動板(107 )自由端上的大行程楔形塊(101); 還包含連接所述大行程楔形塊(101)的楔形塊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(102)。
6. 如權(quán)利要求l所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的大行程驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含連接所述楔形驅(qū)動板(107 )的轉(zhuǎn)接件(111);設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接件(111)上的螺桿(112 )，該螺桿(112 )通過螺母 (110)帶動轉(zhuǎn)接件(111)產(chǎn)生位移；連接所述螺桿(112 )的大行程驅(qū)動電機(jī)(108 );連接所述轉(zhuǎn)接件(111)和大行程驅(qū)動電機(jī)(108)的若干消隙拉簧 (109)。
7. 如權(quán)利要求l所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述的調(diào)平調(diào)焦底板導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包含設(shè)置在所述底板(106 )上的垂直導(dǎo)軌(104 ),通過導(dǎo)軌安裝塊(105 ) 安裝在底板(106)上；設(shè)置在所述垂直導(dǎo)軌(104)上的滑塊轉(zhuǎn)接件(103)，該滑塊轉(zhuǎn)接件 (103 )的上端連接所述的調(diào)平調(diào)焦底板(7 )的下部，可以沿垂直導(dǎo)軌(104 ) 滑動；連接所述底板(106 )和調(diào)平調(diào)焦底板(7 )的若干拉簧(114 )。
8. 如權(quán)利要求1所述的具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述的大行程調(diào)節(jié)才幾構(gòu)還包含連接所述大行程楔形才幾構(gòu)和大行程驅(qū)動才幾 構(gòu)的控制模塊。
全文摘要
一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包含小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和設(shè)置在該小行程調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)下部的大行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，Z向大行程由獨(dú)立的楔形塊機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，Z向微量調(diào)節(jié)由楔形塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動，簧片導(dǎo)向來實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明提供的一種具有大行程調(diào)節(jié)功能的調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)Z向大行程調(diào)節(jié)和Z向微量調(diào)節(jié)，提高了動態(tài)性能和調(diào)節(jié)精度，適應(yīng)不同的應(yīng)用場合和不同的硅片厚度規(guī)格。
文檔編號G03F7/20GK101334591SQ200810145049
公開日2008年12月31日 申請日期2008年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月21日
發(fā)明者周清華, 李志龍, 李生強(qiáng) 申請人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司