技術(shù)編號(hào)：2808520
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板處理裝置，其對(duì)半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃 基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板(以下，簡單稱為"基板")進(jìn)行一 系列的處理。背景技術(shù)以往，作為該種裝置是一種在基板上形成抗蝕膜，通過另外的曝光機(jī)將 形成抗蝕膜的基板曝光，并使被曝光的基板顯影的裝置。具體地說，抗蝕膜 形成用涂敷處理單元等各種藥液處理單元和熱處理單元分別與單獨(dú)的主搬 運(yùn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在一起，從而構(gòu)成一個(gè)域，通過排列這樣的多個(gè)域而形成基板處 理裝置。在該裝置中，在向各域中搬運(yùn)基板的同...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。