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層疊構(gòu)造及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2808123

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本發(fā)明涉及一種,該層疊構(gòu)造用作在薄型顯示 裝置使用的薄膜晶體管的源電極及漏電極等各種電極、反射電極,或者用 于連接它們的布線、存儲電容電極以及公共電極。背景技術(shù)Al合金因比電阻低、加工容易等的特點,而在液晶顯示裝置、等離 子顯示裝置、場致發(fā)光顯示裝置、場致發(fā)射顯示裝置等薄型顯示裝置(FPD) 領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用于布線膜、電極膜、反射電極膜、存儲電容電極及公共電 極的薄膜材料等。例如,專利文獻l公開了一種層疊構(gòu)造,其在氧化物透明電極即ITO 膜上形成有低電阻金屬...
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