技術(shù)編號:2805632
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)1、發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種掩膜用元件,和用此元件制備掩膜的方法以及用此掩膜制備感光樹脂印版的方法。尤其是,本發(fā)明涉及一種掩膜用元件,其非常有利于制備用于感光樹脂印版如苯胺印版的掩膜,不需要用化學(xué)藥品處理,用激光束蝕刻具有極好的清晰度并且可用于制備大尺寸的印版;并涉及一種用此元件制備掩膜的方法;也涉及一種用此掩膜制備感光樹脂印版的方法。2、現(xiàn)有技術(shù)描述已知,穿過具有特定圖案的作為負(fù)片的掩膜用光照射具有感光樹脂層的印版材料的感光樹脂層,然后清洗除去感光...
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