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化學(xué)放大型光致抗蝕劑組合物及其使用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2798958

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本發(fā)明一般地涉及。更特別地,該光致抗蝕劑組合物包含酚醛聚合物和(甲基)丙烯酸酯基共聚物的摻合物。背景技術(shù)在工業(yè)上存在著對(duì)由使用光刻技術(shù)制造的微電子器件中更高電路密度的需求。增加每個(gè)芯片上組件的數(shù)目的一種方法是降低芯片上的最小特征尺寸,這需要更高的光刻分辨率。使用較短的波長(zhǎng)輻射(例如,190到315nm)提供較高分辨率的潛在可能。然而,在深UV輻射下,相同能量劑量轉(zhuǎn)移較少的光子,因而需要更高曝光劑量來(lái)獲得所需要的相同光化學(xué)響應(yīng)。另外,在深UV光譜區(qū)域中,當(dāng)前...
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