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曝光裝置及裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2798745

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本發(fā)明關(guān)于一種,更詳細(xì)而言,關(guān)于經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)而通過(guò)能量光束曝光物體的曝光裝置,及使用該曝光裝置的裝置制造方法。背景技術(shù)先前制造半導(dǎo)體組件(集成電路等)、液晶顯示組件等的電子裝置(微型裝置)的微影工藝,主要使用步進(jìn)及反復(fù)方式的投影曝光裝置(亦即步進(jìn)機(jī)),或是步進(jìn)及掃描方式的投影曝光裝置(亦即掃描步進(jìn)機(jī)(亦稱為掃描儀))等。此種投影曝光裝置具有保持晶圓或玻璃板等基板(以下統(tǒng)稱為晶圓),并將該晶圓沿著指定的二維平面內(nèi)驅(qū)動(dòng)的載臺(tái)裝置。載臺(tái)裝置為了進(jìn)行精確曝光,而要...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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