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具有高耐熱性的光致抗蝕劑組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2798585

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背景技術(shù)(a)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及光致抗蝕劑組合物,且更具體地說,本發(fā)明涉及可以在LCD-TFT板生產(chǎn)過程中光處理漸進(jìn)圖案形成中的高耐熱的光致抗蝕劑組合物。(b)相關(guān)領(lǐng)域的描述按照暴露部分和非暴露部分的溶解特性將用于LCDs的光致抗蝕劑中的聚合物分成陰型和陽型。光致抗蝕劑的具體特征在于作為因?qū)Ψ肿恿糠植?、間/對甲酚的比例、亞甲基的共軛位置、光活性化合物的酯鍵、成分比例等的各種研究而導(dǎo)致的溶解特性改善的結(jié)果的0.3μm或0.3μm以上的分辨率。LCD-TFT板...
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