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包含含有肟酯的基于三嗪的光活性化合物的光敏組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2796812

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本發(fā)明涉及一種包含含有將酯的基于三。秦的光活性化合物的光敏 組合物。本申請(qǐng)要求韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?005-0116609(于2005年12月1曰申 請(qǐng))和韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?005-0134925(于2005年12月30日申請(qǐng))的權(quán)利, 其全部?jī)?nèi)容在此引入作為參考。背景技術(shù)光敏組合物可以涂覆在基底上形成涂布膜,對(duì)整個(gè)涂布膜進(jìn)行曝 光而形成絕緣膜或者保護(hù)膜,或者使用光掩模(photomask)通過(guò)光照對(duì) 涂布膜的特定部分曝光,接著對(duì)未曝光部分進(jìn)行顯影處理以將其除去,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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